Modul jednotky ovládání tlaků v komoře

Druh výsledku
funkční vzorek
Popis

Modul jednotky ovládání tlaků slouží k ovládání vakuové vývěvy pro vytvoření nízkého vakua, chytrých
el. mag ventilů od firmy Bronkhorst pro regulaci tlaku mezi 1 mB až 1300 mB. Karta dále ovládá
2 klasické el. mag. ventily pro odvzdušnění/zavzdušnění interakční komory na okolní tlak. Ovládání
chytrých ventilů je přes protokol FlowBus a převáděn na modifikovaný protokol od firmy Trinamic.
Modul karty se zasouvá do jednotky s řídící elektronikou, která je napojena na počítač. Jedná se o
rozměr DPS 160x100 mm, což odpovídá standardům eurokarty.

Klíčová slova
Regulace, Tlak, LIBS.