Vícecestný kapalinový ventil

Druh výsledku
funkční vzorek
Popis

Vícecestný kapalinový ventil určen pro výrobní postupy vyžadující časté střídání procesních kapalin například v mikroelektronice a elektrochemi a MEMS technologiích. Je konstruován se zvýšenou chemickou odolností na bázi teflonových a silikových prvků s kapaciou až 22 vstupních portů. Ventil pracuje na principu karuselového selektroru se servomotorem řízeným pomocí elektromagneického čidla s přesnotí 10um.

Klíčová slova
ventil, elektrochemie, nanostruktury, depozice, chemická odolnost