Nový nanostrukturovaný systém pro detekci infračerveného záření (NanoIR)

GA13-19947S
Description

Na bolometrech založené systémy snímání obrazu jsou velmi složitá zařízení, která musí zachytit extrémně nízké amplitudy přicházející tepelné energie. Řada vlastností je již dotažena téměř do dokonalosti jako absorpce IR, tepelná izolace, časová odezva bolometru a integrace obvodů pro čtení (ROIC). Všechny tyto parametry/komponenty musí být optimalizovány jako jeden společný systém. Z tohoto důvodu se projekt bude zabývat využitím nových materiálů s vysokou absorpcí infračerveného záření a technikami jejich přípravy tak, aby byla kompatibilní s výrobou integrovaných obvodů. Problematika kompatibility je obzvláště obtížná, protože pro syntézu nanočástic jako např. uhlíkových nanotrubic je zapotřebí vyšších teplot a to až nad 500°C. Výstupem bude mikromembrána bolometru pokrytá nanostrukturami s absorpcí IR záření větší než 0,97 a technologie pro její pokrytí. Vedle technologické části budou studovány nové ROIC systémy, které přinesou obvody pro rychlé čtení signálů, jejich kompenzaci a zpracování. Tyto systémy budou pro testování vyrobeny na čipu v rámci programu Europractice.

Keywords
absorpce IR
nanodráty
nanotrubice
bolometr