Uchovávání energie na čipu pro autonomní senzorové pole (CAPoC)

GA17-27340S
Description

Skladování energie pro MEMS generátory integrovaných na čipu s patřičnými obvody je klíčovým prvkem pro úspěšný provoz autonomních mikrosystémů. V důsledku toho materiály a technologie na míru pro realizaci tenkovrstvých kondenzátorů kompatibilní s CMOS mají zásadní význam. Očekávané vlastnosti těchto zařízení cílí na hodnotou kapacity desítek mF/cm2, nízký ztrátový činitel a nízké svodové proudy. K využití maximálního na povrchu bude kondenzátor založen na porézních materiálech a bude studováno několika technik tvorby oxidu
kovu. Modelování a simulace vlastností pomáhají rozvíjet struktury kondenzátoru s
požadovanými parametry na křemíkové destičce.

Keywords
mikročip
kondenzátor
generátor energie
depozice
atomových
vrstev
naprašování
Project type
Aplikovaný výzkum