Hlavní činnosti
- Vývoj mikrosenzorů pro detekci plynů,
- Výzkum v oblasti elektrochemických senzorů a biosenzorů,
- Vývoj mikro- and nanosystémů pro senzorické aplikace (MEMS, NEMS) a elektroniku.
Přístrojové a technické vybavení laboratoře
- Zařízení pro molekulární hmotnostní spektroskopii s detektory TOF,
- Zařízení pro hrotové elektrické kontaktování čipů a tenkovrstvých vzorků s analyzátorem polovodičů a impedančním analyzátorem umožňující elektrické charakterizace,
- Rastrovací elektronový mikroskop s detektory EDX/WDX TESCAN MIRA II pracující v módu UHV a NHV pro měření biologických vzorků. K dispozici je též LVSD detektor pro sledování v nízkém vakuu,
- Systém IBAD – iontové asistované naprašování velmi tenkých konformních vrstev pomocí iontového zdroje,
- SAM depozice + Parylen – depozice organických vrstev pomocí Self-assembly monolayer depozice a rozkladem monomeru => vytváření hydrofobních povrchů pro spin-coating rezistů a mikrofluidiku a dále biokompatibilních vrstev laboratoře na čipu.
Odpovědná osoba
